电子化学品系列报告之一：电子特气国产替代空间广阔

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基础化工行业：电子特气国产替代空间广阔深度分析

中心思想

本报告深入分析了电子特气行业的市场前景和国产替代机遇，核心观点如下：

• 市场增长潜力巨大：全球及中国电子特气市场均有望保持快速增长，尤其是我国增速将显著高于全球平均水平。
• 国产替代迫在眉睫：国内半导体用电子特气市场长期被外资垄断，国产化率亟待提升，以保障产业链安全。
• 投资机会显现：在技术进步、需求拉动和政策支持等多重因素驱动下，电子特气国产化进程将加速，相关企业迎来发展良机。

主要内容

1. 电子特气市场有望保持快速增长，国产化率提升空间大

1.1 集成电路等行业有望驱动我国电子气体市场保持快速增长

• 电子气体分类与应用：电子气体分为电子特种气体和电子大宗气体，是集成电路、显示面板等行业不可或缺的关键材料。电子特种气体主要应用于光刻、刻蚀、成膜等工艺环节。
• 供应模式：电子气体供应模式包括零售供气和现场制气，零售供气市场已成为内资企业争夺的焦点。
• 下游需求分析：集成电路是电子特气下游第一大需求领域。中国集成电路市场规模、产值有望保持较快增长，从而推动电子特气市场不断扩大。显示面板市场也有望维持较快增长，拉动电子特气需求提升。
• 市场规模预测：全球电子特种气体市场有望保持较快增长，预计2025年市场容量将超过60亿美元。中国电子气体市场增速有望显著高于全球水平，未来有较大发展空间。

1.2 电子特气国产化率低，提升空间大

• 行业壁垒高：电子气体尤其是半导体用电子气体行业进入门槛高，在技术积累、市场开拓、资金投入和人才储备等方面都对企业提出了较高的要求。
• 竞争格局：全球电子气体行业呈寡头垄断格局，前十大企业占据90%以上市场份额。国内半导体用电子气体市场方面，美国空气化工、德国林德、日本昭和电工合计市场份额达到75%，而国产化率仅为15%。
• 政策支持：近年来，我国相继出台了支持电子气体行业发展的系列政策，为电子气体的发展提供了良好的政策环境。
• 国产替代机遇：国内特种气体行业经过多年的发展和沉淀，已在部分产品上实现突破，特种气体国产化具备了客观条件。

2. 电子特气部分品种介绍

• 市场规模前十气体：全球市场规模排名前十的电子特气分别为三氟化氮（NF3）、六氟化钨（WF6）、六氟丁二烯（C4F6）、氨气（NH3）、氙气（Xe）、硅烷（SiH4）、一氧化二氮（N2O）、磷烷（PH3）、激光气（混合气）、三氟化氯（ClF3）。
• 分类：电子特种气体按照用途划分可分为硅基材料类气体、清洗气体、刻蚀气体、气相沉积气体、掺杂气体等。

2.1 硅基材料类气体

• 甲硅烷：半导体生产过程中是极其重要的关键“源”性气体。
• 乙硅烷：半导体先进制程及相关高阶工艺制程的关键材料。

2.2 清洗、蚀刻气体

• 三氟化氮：作为清洗、刻蚀气体，在集成电路和显示面板等领域均有广泛的应用。
• 四氟化碳：微电子行业中用量最大的等离子蚀刻气体之一，主要应用于各种集成电路的等离子蚀刻和清洗工艺。
• 六氟丁二烯：目前主要作为蚀刻气应用于半导体行业，其具有选择性好、精确度高等优点。
• 八氟环丁烷：一种化学性质稳定且用途十分广泛的氟碳类特种气体。
• 三氟化氯：主要用于芯片制程中的蚀刻、硅片和腔体清洗。

2.3 沉积气体

• 六氟化钨：主要应用在集成电路制造领域，因其优良的电性能，广泛使用在化学气相沉积工艺中。
• 氧化亚氮：高纯氧化亚氮将越来越多地应用到微电子、光电子产品器件的生产过程中。

3. 投资建议

• 关注领先企业：建议关注电子气体领先企业华特气体（688268）、金宏气体（688106）、凯美特气（002549）等。

4. 重点公司

• 华特气体（688268）：中国特种气体国产化的先行者，在特种气体领域拥有较强的技术优势，开拓了一系列半导体优质客户。
• 金宏气体（688106）：环保集约型综合气体供应商，能够为众多客户提供特种气体、大宗气体和燃气三大类100多个气体品种。
• 凯美特气（002549）：以石油化工尾气、废气、火炬气为原料进行回收利用的专业环保企业，产品在饮料、食品、烟草、化工、电子、农业、冷链物流等多领域应用广泛。

5. 风险提示

• 原材料价格大幅波动导致电子气体产品盈利能力下行风险；
• 国内经济复苏不及预期风险；
• 半导体等行业不景气导致电子气体需求下行风险；
• 行业供给增加，竞争加剧，供需格局恶化风险；
• 国内技术突破、国产化率提升不及预期风险；
• 美联储加息超预期导致经济衰退风险；
• 贸易摩擦风险；
• 天灾人祸等不可抗力事件的发生。

总结

本报告通过对电子特气行业的市场规模、竞争格局、重点产品和相关政策的深入分析，揭示了电子特气国产替代的巨大空间和投资机遇。在半导体产业自主可控的大背景下，国内电子特气企业有望凭借技术突破和政策支持，逐步打破外资垄断，实现快速发展。建议投资者关注相关领先企业，但同时也需注意行业竞争加剧、技术突破不及预期等风险。